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微热板

MEMS器件设计 - 微热板

微热板芯片一般用于MEMS气体传感器,集成微型加热器和叉指电极,微型加热器用于为气体传感器提供合适的工作温度,叉指电极用于检测气敏材料的电阻变化。
  • 产品介绍
  • 案例展示
●  集成微型加热器和叉指电极,面积小,利于集成
●  功耗低
●  可靠性高
●  控温准
●  尺寸:1.0*1.0*0.3mm
●  加热丝材料:铂
●  热响应时间:<10ms
●  工作电压:<4V
典型应用:
●  用于气体传感器
 
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