拉斯维加斯app官方_3133拉斯维加斯网址

电话:0512-65821886 地址:苏州市工业园区新平街388号腾飞创新园A1栋
行业动态

什么是微纳加工?怎么起源的?

2021-09-01
博研小编给大家稍微普及一下,微纳加工是制造微米级或更小的微型结构的过程。从历史上看,最早的微制造工艺用于集成电路制造,也称为“ 半导体制造 ”或“半导体器件制造”。
 什么是微纳加工?怎么起源的?
在过去的二十年中,微机电系统、微系统、微机械及其子领域,微流体学片上实验室,光学MEMS、RF MEMS、PowerMEMS、BioMEMS及其扩展到纳米级(例如,用于纳米机电系统的NEMS)已经重新使用,调整或扩展了微制造方法。平板显示器和太阳能电池也正在使用类似的技术。
 
各种设备的小型化在科学与工程的许多领域提出了挑战:物理、化学、材料科学、计算机科学、超精密工程、制造工艺和设备设计。它也引起了各种各样的跨学科研究。微纳加工的主要概念和原理是微光刻、掺杂、薄膜、 蚀刻、粘接和抛光。
 

应用领域

 
可以应用到微型设备,包括:
 
集成电路(“微芯片”)
 
微机电系统(MEMS)和微光电系统(MOEMS)
 
微流体装置(喷墨打印头)
 
太阳能电池
 
平板显示器
 
传感器(微传感器)(生物传感器,纳米传感器)
 
功率MEMS,燃料电池,能量收集器/清除剂
 

起源

 
微纳加工技术起源于微电子工业,即使使用玻璃,塑料和许多其他基材,该设备通常还是在硅晶片上制造的。微加工、半导体加工、微电子制造、半导体制造、MEMS制造和集成电路技术是代替微加工的术语,但微加工是广义的术语。
 
传统的加工技术(例如放电加工,火花腐蚀加工和激光钻孔)已从毫米尺寸范围扩展到微米范围,但博研小编认为它们并没有共享微电子起源的微纳加工的主要思想:复制和并行制造数百个或多个数百万个相同的结构。这种平行性存在于各种印记,铸造和模塑技术中,这些技术已成功应用于微区域。例如,DVD的注射成型涉及在光盘上制造亚微米尺寸的斑点。

上一篇:微纳加工主要是用来做什么的          下一篇:石墨烯微纳结构加工有哪些技术
Baidu
sogou