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MEMS加工是种怎样的技术工艺

2022-03-07
让博研小编先解释一下什么是MEMS。MEMS的全称是Microelectromechanicalsystems,这个词让老美读起来绕口而行,中文称之为微机械机电系统。MEMS加工技术的快速发展是由于传统机电工艺制成的驱动器和传感器无法满足电子消费、工业、科研甚至军工的需求。20世纪80年代末,随着集成电路产业的快速发展,将驱动器、传感器和集成电路芯片集成成为科技发展的必然趋势,促成了MEMS的诞生。
 MEMS加工是种怎样的技术工艺
使用MEMS加工技术的好处:
 
1.原材料价格低廉,产量充足。
 
集成电路和MEMS的大部分原材料都是硅(Si),这种神奇的VI元素可以从二氧化硅中提取出来。什么是二氧化硅?说白了,就是沙子。经过一系列复杂的加工过程,随处可见的沙子变成了单晶硅。
 
2.批量生产-产能高,产量高。
 
MEMS驱动器和传感器大多含有微机械机构。想象一下,我们需要测试一个一微米长的弹簧移动一纳米(微米尺度的悬臂梁在纳米尺度范围内移动),这在传统的机械加工过程中是很难实现的。由于MEMS加工技术,我们现在可以在每个wafer上出现成千上万的MEMS芯片(有些工艺将集成电路芯片放在同一步骤中)。
 
目前,批量生产的过程已经自动控制,隔离了人为因素,保证了每个MEMS芯片之间的工艺误差得到严格控制,从而提高了产量。切片封装后,成为MEMS芯片。从外观上看,大多数MEMS芯片与集成电路芯片相似。
 
3.纳米技术本身的优势。
 
曾几何时,微米和纳米技术被称为技术的代言人,但大多数人根本不明白微米和纳米技术是什么。事实上,对于MEMS传感器来说,最大的优点是体积和表面积的比值小(体积:表面积)。我们都知道体积是长度的三个方,而面积是长度的二个方。因此,减少MEMS设备比例的结果是体积:表面积减小,增加MEMS加工设备的信噪比(即有益)。
 

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