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LIGA是什么样的MEMS加工技术

2022-03-15
据博研小编了解,LIGA加工是德语光刻、电镀(也称电铸)和压模(Abformung)的简称。LIGA技术可以加工金属、塑料等非硅材料,也可以加工深宽比大的零件,这是体微加工和表面微加工难以实现的。但MEMS加工工艺应以同步加速器辐射装置产生的高能辐射为主要加工方法,设备昂贵,投资大。
 LIGA是什么样的MEMS加工技术
以LIGA工艺加工为例。首先,在金属底板上放置一层PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯、有机玻璃),然后放置模板,用同步加速器装置产生的高能射线蚀刻PMMA,最后形成所需的空腔,然后用电填充空腔,然后去除PMMA,得到所需的金属齿轮。
 
MEMS设备和系统的包装和测试也是MEMS加工技术发展的一个重要方面,由于该技术复杂,其成本有时在整个MEMS设备或系统中占很大比例。此外,基于MEMS设备的不同结构和功能,MEMS设备的包装具有多样性和复杂性,包装方法和质量对设备工作的可靠性有重大影响。
 
例如,MEMS设备或系统中具有运动功能的部件必须可靠地工作,从外部获取信息的传感结构(如压力计、硅麦克风)需要长期稳定地工作,这与传统的IC包装有很大的不同。因此,新包装技术的不断发展,如晶圆全硅包装技术,一次完成数千个设备的包装,可以大大降低体积,降低成本,提高设备或系统的可靠性。
 
由于MEMS设备结构和功能的多样性也决定了其测试的多样性。MEMS设备通常包括用于传感和执行的活动部件,需要测量动态参数,如微镜的稳定时间动态特性、传感器的位移范围和悬臂梁的谐振频率。在这种情况下,除了测量一般的电参数外,还需要精确、实时和高分辨率的无创检测技术。
 
MEMS设备动态特性的光学测量是一种有效的测试手段。先进的光学测量技术了解MEMS设备在开发过程中的全视觉动态响应,完成各种参数(尺寸、薄膜厚度、台阶高度、横截面、粗糙度、压力、静摩擦、弹性模量、响应时间、热膨胀、谐振频率等)的测量。

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