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光刻板怎么样

2022-01-20
博研微纳小编来为大家介绍一下光刻板到底怎么样。
光刻板怎么样
  1.光刻板由什么组成
 
  光刻板主要分两个组成部分,即基板和不透光材料,不同光刻板的不透光材料有所不同。基板通常是高纯度,低反射率,低热膨胀系数的石英玻璃。不同种类光刻板使用的不透光材料不同。光刻板分为铬版(苏打玻璃、石英玻璃、硼硅玻璃)、干版、菲林、凸版(APR)。铬版的不透光层是通过溅射方法镀在玻璃下方厚约0.1um的铬层。铬的硬度比玻璃略小,不易受损但有可能被玻璃所伤害。应用于芯片制造的光刻板为高敏感度的铬版。干版涂附的乳胶,硬度小且易吸附灰尘,不过干版还有包膜和超微颗粒干版,后者可应用于芯片制造。
 
  2.光刻板的工作原理
 
  光刻板的功能类似于传统照相机的底片。制造商通常根据客户所需要的图形,用光刻机在原材料上光刻出相应的图形,将不需要的金属层和胶层洗去,即得到光刻板。光刻板的原材料光刻板基板是制作微细光刻板图形的感光空白板。通过光刻制版工艺,将微米级和纳米级的精细图案刻制于基板上制作成光刻板。光刻板的作用主要体现为利用已设计好的图案,通过透光与非透光方式进行图像(电路图形)复制,从而实现批量生产。
 
  3.光刻板行业发展
 
  随着电子信息技术的日新月异,5G 技术和人工智能带动下游终端电子产品的更新 换代速度越来越快,以平板电视、笔记本电脑、数码相机、智能手机等产品为主的消费 类电子产品产销量持续增长,为平板显示、半导体芯片、触控、电路板等电子元器件相 关行业带来巨大的市场空间,间接带动了光刻板行业的发展。
 
  同时,电子元器件制造商 为了满足其下游产品的多功能、小型化、便携性等需求,不断加大技术投入,开发新材料、新技术以及研发新产品,这也为光刻板行业的发展带来了更多市场需求。

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