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MEMS器件设计的关键是什么

2021-10-27
据博研小编了解,MEMS器件设计一般包括微结构设计、处理电路设计、封装设计等。国外在微结构设计、数模电路设计上取得不错的成就,微结构与电子线路整合的一体化设计或整体布局明显优于国内水平。国内在结构仿真分析、优化算法方面有一定优势。
 MEMS器件设计的关键是什么
MEMS器件设计的关键在于多学科之间的交叉,通过不同的材料加工与方法进行综合,实现多物理域的协调,从而使得MEMS多域耦合更好的配合运行。
 
MEMS系统设计的复杂性较高,对于各方面工作的进行有一定的难度,在实际的操作中可以通过层级系统、非层级系统和混合层级系统等进行具体的划分,从而可以进行细化研究。
 
层级系统以分级的方式进行划分,其形成一种树状结构,其系统构造较为简单。非层级系统是网状结构,多物理域相互之间的联系紧密,形成不同的交互关系。混合层级系统是树状与网状的混合,对于系统的划分有着更大的优势,在MEMS器件优化设计中的应用是比较广泛的。
 
MEMS器件的优化主要分为四个框架,分别是系统结构、封装子系统、非MEMS子系统详细设计、器件结构。对于非MEMS子系统详细设计和封装子系统需要进行重点的详细设计,器件结构也需要关注生产成本和驱动方式,从加工工艺的提高等方面入手,提高系统的性能与安全。
 
博研小编了解到MEMS器件多学科优化设计是根据其系统的复杂性进行的,多个领域的交叉配合,对方案设计也提出了更高的要求,通过对子系统的优化,并且以其为基础进行系统的整合,充分体现子系统的优势。在系统的优化设计中,子系统既可以独立运行,也可以结合进行,实现信息更好的交流,为数据的分析提供更多的理论依据。

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